发明名称 Monitoring pattern and method of forming the monitoring pattern in semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100871756(B1) 申请公布日期 2008.12.05
申请号 KR20060136979 申请日期 2006.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/66 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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