发明名称 Isolierschicht-Vorrichtung (IG-Vorrichtung) mit einem Aufbau mit einer Source mit engem Bandabstand, und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE19533754(B4) 申请公布日期 2008.12.04
申请号 DE19951033754 申请日期 1995.09.12
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 YOSHIMI, MAKOTO;INABA, SATOSHI;MURAKOSHI, ATSUSHI;TERAUCHI, MAMORU;SHIGYO, NAOYUKI;MATSUSHITA, YOSHIAKI;AOKI, MASAMI;HAMAMOTO, TAKESHI;ISHIBASHI, YUTAKA;OZAKI, TOHRU;KAWAGUCHIYA, HITOMI;MATSUZAWA, KAZUYA;ARISUMI, OSAMU;NISHIYAMA, AKIRA
分类号 H01L29/78;G11C11/401;H01L21/336;H01L27/108;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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