发明名称 Laserstrahlbearbeitungseinrichtung
摘要 Eine Laserstrahlbearbeitungseinheit weist eine Laserstrahlbestrahlungseinheit auf, wobei die Laserstrahlbestrahlungseinheit aufweist: einen Laserstrahloszillator zur Abgabe eines Laserstrahls; einen Strahlteiler, durch welchen der Laserstrahl, der von dem Laserstrahloszillator abgegeben wird, auf einen ersten Laserstrahl und einen zweiten Laserstrahl aufgeteilt wird; eine Drehhalbwellenlängenplatte, die zwischen dem Laserstrahloszillator und dem Strahlteiler angeordnet ist; eine Kondensorlinse, die in einem ersten optischen Weg vorgesehen ist, um den ersten Laserstrahl, der durch den Strahlteiler abgeteilt wurde, zu führen; einen ersten reflektierenden Spiegel, der in einem zweiten optischen Weg angeordnet ist, um den zweiten Laserstrahl zu führen, der durch den Strahlteiler abgeteilt wurde; eine erste Viertelwellenlängenplatte, die zwischen dem Strahlteiler und dem ersten reflektierenden Spiegel angeordnet ist; einen zweiten reflektierenden Spiegel, der in einem dritten optischen Weg angeordnet ist zum Aufteilen darin des zweiten Laserstrahls, der zum Strahlteiler durch den zweiten optischen Weg zurückgeführt wurde; eine zweite Viertelwellenlängenplatte, die zwischen dem Strahlteidnet ist; und eine Zylinderlinse, die zwischen dem Strahlteiler und der zweiten Viertelwellenlängenplatte angeordnet ist.
申请公布号 DE102008025381(A1) 申请公布日期 2008.12.04
申请号 DE200810025381 申请日期 2008.05.28
申请人 DISCO CORP. 发明人 OBA, RYUGO;MORIKAZU, HIROSHI
分类号 B23K26/073;H01L21/301 主分类号 B23K26/073
代理机构 代理人
主权项
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