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发明名称
摘要
申请公布号	AU406392(B2)	申请公布日期	1970.10.07
申请号	AU19660014820	申请日期	1966.12.05
申请人		发明人
分类号	G03F7/20;H01L21/00	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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