| 发明名称 | 气体供给集成单元 | ||
| 摘要 | 本发明目的在于提供一种对在常温常压下容易液化的过程气体进行加热保温同时进行供给的气体供给集成单元。设在出口流路上的第一手动阀22、设在用于连通该第一手动阀22和过程气体共用流路44的位置上的气动阀26、以及用于连通该第一手动阀22和清洁气体共用流路43的位置上的第二手动阀25通过流路块46和单元固定板15串联连成一体而构成气体单元，所述气体供给集成单元包括多个气体单元，其中设有：保持部件18，截面呈コ字形，嵌合有流路块46和单元固定板15；和平面加热器16，夹持固定在保持部件18与流路块46及所述单元固定板15之间。 | ||
| 申请公布号 | CN100440454C | 申请公布日期 | 2008.12.03 |
| 申请号 | CN200580014989.0 | 申请日期 | 2005.04.15 |
| 申请人 | 喜开理株式会社 | 发明人 | 武市昭宏;青山达人;三轮敏一;井上贵史 |
| 分类号 | H01L21/31(2006.01);C23C16/455(2006.01);F17D1/04(2006.01) | 主分类号 | H01L21/31(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 田军锋;王爱华 |
| 主权项 | 1.一种气体供给集成单元，包括多个气体单元，设在出口流路上的第一手动阀、设在用于连通该第一手动阀和过程气体共用流路的位置上的气动阀、以及用于连通该第一手动阀和清洁气体共用流路的位置上的第二手动阀通过流路块和单元固定板串联连成一体而构成所述气体单元，其特征在于，包括：保持部件，截面呈コ字形，嵌合有所述流路块和所述单元固定板；和与所述气体单元的底面接触设置的平面加热器，夹持固定在所述保持部件与所述流路块及所述单元固定板之间。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||