成膜装置及成膜方法

摘要

所揭示之成膜装置具有：处理容器，在内部维持减压空间，供给成膜气体之处理容器；基板保持部，被设置在处理容器之内部，保持基板；和加热器，藉由含有高熔点金属和碳之化合物所构成，被设置在处理容器之内部，加热基板。