利用Ｘ射线萤光之小特征检测

摘要

本发明揭示一种用于检测的方法，其包括使用一X射线光束来照射一样本，该X射线光束系聚焦以便在该样本之一表面上界定一光点。该样本与该X射线光束之至少一者系偏移以便沿一跨过该表面上之一特征的扫描路径来扫描该光点。回应该X射线光束从该样本发射之X射线萤光的个别强度系沿该扫描路径于复数个位置处进行测量，于该复数个位置处该光点具有与该特征的不同之个别程度的重叠。于该复数个位置处测量的强度系处理以便计算该扫描路径上所发射X射线萤光之一调整值。该特征之厚度系基于该调整值来估计。