自动分析修补装置

摘要

本发明系提供一种自动分析修补装置，包含一自动缺陷分析系统、一自动缺陷修补系统及一手动缺陷修补系统；其中该自动缺陷修补系统更包含一资料撷取单元、一运算单元及一缺陷分类单元。当进行一待测物缺陷自动分析修补时，该资料撷取单元会撷取该待测物之一待分析缺陷资料并交予该运算单元分析以得一缺陷分析结果，接着该缺陷分类单元会针对该缺陷分析结果加以分类以利后续该自动缺陷修补系统或该手动缺陷修补系统进行缺陷修补。