研磨用组成物及研磨方法

摘要

本发明系提供更适合于研磨含钨晶圆的用途之研磨用组成物及使用该研磨用组成物之研磨方法。本发明之研磨用组成物系含有胶体二氧化矽与过氧化氢。研磨用组成物之pH为5~8.5，研磨用组成物中之铁离子浓度为0.02ppm以下。研磨用组成物进而含有磷酸或磷酸盐为佳。