发明名称 |
液体回收系统、液浸曝光装置、液浸曝光方法、以及元件制造方法 |
摘要 |
液体回收系统,系用于液浸曝光装置。液体回收系统,具备:第1开口部;与第1开口部对向之物体上之液体能透过第1开口部流入的空隙部;透过多孔构件吸引流入空隙部之液体至少一部分的液体回收部;以及异于第1开口部的第2开口部;空隙部系透过该第2开口部而开放至大气。 |
申请公布号 |
TW200846837 |
申请公布日期 |
2008.12.01 |
申请号 |
TW097102471 |
申请日期 |
2008.01.23 |
申请人 |
尼康股份有限公司 |
发明人 |
长博之 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01);H01L21/02(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
桂齐恒;阎启泰 |
主权项 |
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地址 |
日本 |