发明名称 | 可增进照光效能的内嵌式光抹除记忆体及其制造方法 | ||
摘要 | 一种可增进照光效能的内嵌式光抹除记忆体,包括基底、记忆体元件、多层介电层、多层顶盖层及至少三层金属层。基底包括记忆体区与核心电路区。记忆体元件包括选择闸极与浮置闸极,选择闸极与浮置闸极相邻配置于记忆胞区中的基底上。介电层配置于基底上且覆盖记忆体元件,介电层中具有第一开口,且第一开口位于浮置闸极上方。各顶盖层分别配置于各介电层上。金属层配置于核心电路区中的介电层中。 | ||
申请公布号 | TW200847171 | 申请公布日期 | 2008.12.01 |
申请号 | TW096118189 | 申请日期 | 2007.05.22 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 施泓林;蔡文静;黄裕华 |
分类号 | G11C16/18(2006.01) | 主分类号 | G11C16/18(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |