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经营范围
发明名称
System zum Trocknen von Halbleitersubstraten
摘要
申请公布号
DE10234710(B8)
申请公布日期
2008.11.27
申请号
DE20021034710
申请日期
2002.07.30
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD.
发明人
YI, HUN-JUNG;KIM, KYUNG-DAE;CHON, SANG-MUN;LEE, KI-SEOK;LEE, BO-YONG;PARK, SANG-OH;JUN, PIL-KWON
分类号
F26B9/06;H01L21/302;F26B11/02;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/683
主分类号
F26B9/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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