| 发明名称 |
一种用于溅镀式镀膜机台的承载台 |
| 摘要 |
本发明涉及一种用于溅镀式镀膜机台的承载台，其包括：一第一载具及一中空的第二载具。该第一载具包括一承载部及与其相对的底部，该承载部延伸出至少一个突起，所述突起具有与待镀元件相配合的形状，用于承载待镀元件，并将待镀元件的热量传递至第一载具的底部。该第二载具与该第一载具的底部紧密结合，用于吸收该第一载具的底部传递的热量。镀膜时，待镀膜的元件上的热量会通过第一载具传导至该第二载具从而防止待镀膜的元件上的温度过高进而对其造成损伤。 |
| 申请公布号 |
CN101311301A |
申请公布日期 |
2008.11.26 |
| 申请号 |
CN200710200684.X |
申请日期 |
2007.05.23 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
林孟东;张庆州 |
| 分类号 |
C23C14/50(2006.01);C23C14/34(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/50(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种用于溅镀式镀膜机台的承载台，其包括：一第一载具，该第一载具包括一承载部及与其相对的底部，该承载部延伸出至少一个突起，所述突起具有与待镀元件相配合的形状，用于承载待镀元件，并将待镀元件的热量传递至第一载具的底部；一中空的第二载具，该第二载具与该第一载具的底部紧密结合，用于吸收该第一载具的底部传递的热量。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
