发明名称 转移基板和半导体器件的制造方法
摘要 转移基板包括:基板;通过去除层形成在基板上的多个转移薄膜电路;形成在基板上用于检查电路工作的测试电路;和耦连每个薄膜电路与测试电路的布线。
申请公布号 CN100438047C 申请公布日期 2008.11.26
申请号 CN200510099599.X 申请日期 2005.09.14
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 原弘幸;下田达也
分类号 H01L27/12(2006.01);H01L21/84(2006.01);G02F1/136(2006.01);G09F9/00(2006.01) 主分类号 H01L27/12(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 宋合成
主权项 1.一种转移基板,包括:基板;通过去除层形成在所述基板上的多个转移薄膜电路;形成在所述基板上的测试电路,其检查所述多个转移薄膜电路的电路工作;和利用所述测试电路耦连所述多个转移薄膜电路中的每一个的布线。
地址 日本东京