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发明名称 TCP HANDLING DEVICE AND METHOD FOR BADNESS DETECTION OF PUNCHING HOLE IN TCP HANDLING DEVICE
摘要
申请公布号 KR100870045(B1) 申请公布日期 2008.11.24
申请号 KR20070018989 申请日期 2007.02.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01B11/24;G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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