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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode, elektronisches Bauelement und elektronisches Speicherelement
摘要
申请公布号 DE50114378(D1) 申请公布日期 2008.11.20
申请号 DE2001514378 申请日期 2001.07.30
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SARSTEDT, MARGIT DR.
分类号 C23C14/32;H01L21/8242;C23C14/22;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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