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发明名称 SCHMALLBANDIGER LASER MIT FEIN ABSTIMMBARER WELLENLÄNGE
摘要
申请公布号 DE60040471(D1) 申请公布日期 2008.11.20
申请号 DE20006040471 申请日期 2000.08.31
申请人 CYMER INC. 发明人 ALGOTS, JOHN M.;MARCHI, CHRISTOPHER A.;ERIE, FREDRICK G.;BUCK, JESSE D.;ERSHOV, ALEXANDER I.;DAS, PALASH P.;FOMENKOV, IGOR V.
分类号 H01S3/22;H01S3/225;G03F7/20;H01S3/03;H01S3/08;H01S3/081;H01S3/086;H01S3/13;H01S3/134;H01S3/139 主分类号 H01S3/22
代理机构 代理人
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