| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам формирования нанообъектов на подложке. В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность упорядоченного формирования нанообъектов на подложке. Поставленная техническая задача решается тем, что устройство формирования нанообъектов на подложке, содержащее вакуумную камеру, установленный в ней пьезопривод, подложкодержатель с закрепленной на нем подложкой и два электрода, согласно предложенной полезной модели, снабжено дополнительным электродом, выполненным в виде пакета углеродных нанотрубок, установленных в пакете таким образом, что их оси параллельны, пакет жестко связан с торцом пьезопривода, устройство дополнительно снабжено узлом подачи рабочего газа. Введение в устройство формирования нанообъектов на подложке дополнительного электрода, выполненного в виде пакета углеродных нанотрубок, которые установлены в пакете таким образом, что их оси параллельны, а сам пакет жестко связан с торцом пьезопривода, а также узла подачи рабочего газа обеспечивает упорядоченный пролет электронов через углеродные нанотрубки, что и позволяет упорядочить формирование нанообъектов на подложке.</p> |
