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发明名称 SILIZIUMWAFER UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE69939687(D1) 申请公布日期 2008.11.20
申请号 DE19996039687 申请日期 1999.12.01
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO. LTD. 发明人 KOBAYASHI, NORIHIRO;AKIYAMA, SHOJI;ABE, TAKAO
分类号 C30B29/06;C30B33/00;C30B33/02;C30B33/12;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/322 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
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