| 发明名称 | 高抗蚀胶显影液及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种高抗蚀胶显影液，其特征为它主要由馏程为80℃～120℃的C<SUB>6</SUB>～C<SUB>8</SUB>混合烷烃和馏程为150℃～210℃的含庚烷的C<SUB>7</SUB>～C<SUB>10</SUB>混合烷烃组成；高抗蚀胶显影液中C<SUB>6</SUB>～C<SUB>8</SUB>混合烷烃的含量为30～60重量％，含庚烷的C<SUB>7</SUB>～C<SUB>10</SUB>混合烷烃的含量为40～70重量％；含庚烷的C<SUB>7</SUB>～C<SUB>10</SUB>混合烷烃中庚烷的含量为20～80重量％。本发明还涉及该高抗蚀胶显影液的生产方法。本发明具有不含致癌物质及生产成本低的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN101308334A | 申请公布日期 | 2008.11.19 |
| 申请号 | CN200810123283.3 | 申请日期 | 2008.07.09 |
| 申请人 | 殷福华 | 发明人 | 殷福华 |
| 分类号 | G03F7/32(2006.01) | 主分类号 | G03F7/32(2006.01) |
| 代理机构 | 南京众联专利代理有限公司 | 代理人 | 何军 |
| 主权项 | 1、一种高抗蚀胶显影液，其特征为它主要由馏程为80℃～120℃的C6～C8 混合烷烃和馏程为150℃～210℃的含庚烷的C7～C10混合烷烃组成；高抗蚀胶显影液中C6～C8混合烷烃的含量为30～60重量％，含庚烷的C7～C10混合烷烃的含量为40～70重量％；含庚烷的C7～C10混合烷烃中庚烷的含量为20～80重量％。 | ||
| 地址 | 214423江苏省江阴市周庄镇三房巷开发区山泉路18号 | ||