| 发明名称 | 涂料组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于包括半导体和其他电子元件的制造的照相平版印刷工艺的有机涂料组合物。本发明的组合物包括含有含腈组分的组分，所述含腈组分如含有腈部分的树脂组分。本发明的组合物特别适用于作为二、三或更多层图案成型工艺中的底层材料。提供了一种涂覆的衬底，其包括有机底层涂料组合物层，所述有机底层涂料组合物层含有包含腈基的组分；以及在该底层涂料组合物层之上的一种或多种不同的有机组合物层。 | ||
| 申请公布号 | CN101308329A | 申请公布日期 | 2008.11.19 |
| 申请号 | CN200810131438.8 | 申请日期 | 2008.04.07 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | M·K·噶拉格尔;A·赞皮尼 |
| 分类号 | G03F7/09(2006.01);C09D201/02(2006.01) | 主分类号 | G03F7/09(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陈哲锋 |
| 主权项 | 1.一种涂覆的衬底，其包括有机底层涂料组合物层，所述有机底层涂料组合物层含有包含腈基的组分；以及在该底层涂料组合物层之上的一种或多种不同的有机组合物层。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||