感光性组合物及感光性薄膜、以及永久图案及其形成方法

摘要

本发明的目的在于提供含有在保存时的常温下不发生反应、保存稳定性优越、通过加热发生交联反应而促进固化并得到固化膜的良好的膜硬度的化合物，能够通过UV曝光进行图像形成，表面的粘性小，层压性及处理性良好，保存稳定性优越，具有高感度，显影性也优越，显影后也显示优越的耐药品性、表面硬度、耐热性、介电特性等的感光性组合物、及使用其的感光性薄膜、以及高精细的永久图案及其有效的形成方法。因此，提供含有(A)在一个分子中具有一个以上羧基及酯基的至少任一个的聚合物、(B)聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)在一个分子中含有两个以上环氧乙烷环的特定的化合物的感光性组合物及感光性薄膜、以及永久图案及其形成方法。

主权项

1.一种感光性组合物，其特征在于，含有：(A)在一个分子中具有一个以上羧基及酯基的至少任一个的聚合物、(B)聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)选自由下述通式(1)～(3)表示的化合物中的至少一种化合物，通式(1)通式(2)通式(3)其中，所述通式(1)、(2)、及(3)中，P表示氧原子、羰基、酰胺基、尿烷基、亚烷基、及亚芳基的任一个，Q表示硼原子、氮原子、亚烷基、及亚芳基的任一个，W表示与两个X部具有结合的萘，A¹～A⁵表示单键、亚烷基、及亚芳基的任一个，X¹～X⁶表示-OCONH-、-NHCOO-、-NHCO-、及-CONH-的任一个，R¹～R⁶表示氢原子、卤素原子、烷基、及芳基的任一个。