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发明名称 ION BEAM IRRADIATION APPARATUS AND ION BEAM IRRADIATION METHOD
摘要
申请公布号 KR100869522(B1) 申请公布日期 2008.11.19
申请号 KR20067019538 申请日期 2006.09.22
申请人 发明人
分类号 H01J37/317;G02F1/1337;H01J37/30;H01J37/36 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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