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发明名称 Amorphous high-k thin film and manufacturing thereof
摘要
申请公布号 EP1691404(A3) 申请公布日期 2008.11.19
申请号 EP20060250762 申请日期 2006.02.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 MIN, YO-SEP;CHO, YOUNG-JIN
分类号 H01L21/314;H01L21/316 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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