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发明名称 VACUUM EXHAUST DEVICE
摘要
申请公布号 EP1811176(A4) 申请公布日期 2008.11.19
申请号 EP20050745938 申请日期 2005.06.01
申请人 EDWARDS JAPAN LIMITED 发明人 NONAKA, MANABU
分类号 F04B37/16;F04D19/04;F04D29/08;F04D29/16;F16J15/10;F16J15/447 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
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