探针组合体及检查装置

摘要

本发明提供一种探针组合体及检查装置，该探针组合体用于支承刀片型探针，能容易且安全地更换刀片型探针。上述探针组合体包括块状片、空开恒定间隔地支承上述刀片型探针的两个槽杆、一体地支承各刀片型探针的导杆、支承该导杆的侧盖、防止上述刀片型探针在进行更换上述刀片型探针的作业时从该槽杆中脱落的更换轴、覆盖上述刀片型探针及上述槽杆并支承上述更换轴的内盖、上述槽杆的面向上述刀片型探针侧而设的嵌合部，设于上述各刀片型探针上的通过与该嵌合部相嵌合来定位并临时固定该刀片型探针的被嵌合部。

主权项

1.一种探针组合体，其支承刀片型探针使刀片型探针与被检查体的电极电接触，其特征在于，该探针组合体包括：块状片，其一体地支承多个上述刀片型探针；两个槽杆，它们分别设于该块状片的前端侧和基端侧，并分别空开恒定间隔地支承多个上述刀片型探针的前端侧和基端侧；一个以上的导杆，其分别贯穿多个上述刀片型探针，一体地支承各刀片型探针；侧盖，其固定于上述块状片上，支承上述导杆；更换轴，其被配设成与上述槽杆一起夹着多个上述刀片型探针的前端侧或基端侧，防止嵌合于上述槽杆中的上述刀片型探针的前端侧或基端侧在进行更换上述刀片型探针的作业时从该槽杆中脱落；内盖，其安装于上述块状片上，覆盖上述刀片型探针及上述槽杆，并支承上述更换轴；嵌合部，其面向上述刀片型探针侧地设于前端侧或基端侧的上述槽杆上；被嵌合部，其面向上述槽杆的嵌合部侧地设于上述各刀片型探针上，通过与该嵌合部相嵌合而将该刀片型探针定位并临时固定于该槽杆上。