一种用于非电化学金属沉积法加工硅晶片的反应装置

摘要

一种用于非电化学金属沉积法加工硅晶片的反应装置，由外承压密闭容器和内反应罐组成；内反应罐由罐盖、罐体和搁置架构成；罐体和罐盖为螺纹连接的封闭容器；搁置架为半圆筒形结构，在半圆筒的内壁开出间距相等的搁置槽，搁置架的顶部设有可方便移动搁置架的卡入式横梁；内反应罐的所有部件均由聚四氟乙烯制成；外承压密闭容器可使用市售符合国家标准的炊用压力锅。本实用新型的优点是结构简单、操作简便、安全可靠；内反应罐的连接方式使其密封效果更好；外承压密闭容器承压要求较低，可直接使用市售符合国家标准的炊用压力锅进行操作，大大降低生产成本；采用该搁置架可大大提高反应效率，实现硅晶片加工的规模化生产。

主权项

1.一种用于非电化学金属沉积法加工硅晶片的反应装置，其特征在于：由外承压密闭容器和内反应罐组成；内反应罐由罐盖、罐体和搁置架构成；罐体和罐盖为螺纹连接的封闭容器，其中罐体为外螺纹；搁置架为半园筒形结构，在半园筒的内壁开出间距相等的搁置槽，搁置架的顶部设有可方便移动搁置架的卡入式横梁。