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发明名称 MEMS device and fabrication method of the same
摘要
申请公布号 KR100868759(B1) 申请公布日期 2008.11.17
申请号 KR20070007915 申请日期 2007.01.25
申请人 发明人
分类号 G02B26/08;B81B7/00 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
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