扭曲量测影像之方法及装置

摘要

本发明提出在LCD工业上校准量测和检查系统的方法。建立的组件包括由转换器耦合的两个基板。两个夹具也粘着至基板,并连接到干涉仪。利用量测和检查系统支撑桌上面的一个参考点作为参考,在至少一个基板上作记号以建立标记。接着操作转换器以模拟LCD玻璃处理过程,譬如热处理过程或玻璃切割处理过程。运作转换器也会产生干涉仪量测之讯号以及代表第一次扭曲量测。然后比较标记和参考记号以决定第二次扭曲量测。接着利用第一次扭曲量测和第二次扭曲量测的比较来校准量测和检查装置。