淀积装置、淀积方法、有机电场发光元件及显示装置

摘要

热管理对于有机材料等蒸镀材料极为重要。本发明之目的系提供一种可长时间以稳定的性能均匀地蒸镀有机材料等蒸镀材料之蒸镀装置。本发明系一种蒸镀装置，其包括：填充并加热蒸镀材料10之材料保持部11；使自材料保持部11蒸发之蒸镀材料10朝被蒸镀构件20飞散之开口12；及配置于材料保持部11和开口12之间、且被加热至比于材料保持部11加热之蒸镀材料10之温度T2更高之温度T1之高温体13。