| 摘要 |
在此提供一种从工件背侧去除聚合物的方法。该方法包括在真空腔室中从工件背侧支撑该工件，同时使背侧一周边环形部分露出。该方法更包括：将工件边缘的气流限定在工件边缘的一间隙中，该间隙约为腔室直径之1％，该间隙界定出一边界，其介于含有前侧之上方处理区与含有背侧之下方处理区之间。在下方外部腔室中由聚合物蚀刻剂前驱气体中产生一第一电浆，并将第一电浆之蚀刻剂副产物引入到该下方处理区中。在一上方外部电浆腔室中由可清除该蚀刻剂副产物的一清除剂之前驱物气体中产生一第二电浆，并将第二电浆中的清除剂物种引入到该上方处理区中。 |
