蚀刻废液之回收技术及其装置

摘要

本发明主要系利用薄膜电极沉积法(Membrane Electrodeposition)处理含有铜离子之氯化铁之蚀刻废液。将氯化铁蚀刻废液置于阴极室中，其中之氯化铁完全转化为氯化亚铁后，铜离子于阴极上沉积为铜，以机械力将阴极上之铜屑刮下，铜屑随氯化亚铁溶液经过滤机将铜屑滤出。俟铜离子完全于阴极沉积除尽后，将所滤出之氯化亚铁溶液导入阳极室中。其氯化亚铁之亚铁离子于阳极室形成氯化铁，可再回收使用为蚀刻液。