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发明名称 CHEMISCH-MECHANISCHES POLIERVERFAHREN ZUR VERRINGERUNG VON AUFSCHLÄMMUNGSRÜCKFLUSS
摘要
申请公布号 DE602004016885(D1) 申请公布日期 2008.11.13
申请号 DE200460016885T 申请日期 2004.12.02
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS INC. 发明人 CRKVENAC, T. TODD;HENDRON, JEFFREY J.;MULDOWNEY, GREGORY P.
分类号 B24B7/22;B24B37/04;B24B49/04;H01L21/306 主分类号 B24B7/22
代理机构 代理人
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