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Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches Gerät, insbesondere Mikroskop (1), das einen Strahlengang aufweist, in dem mindestens ein Umlenkelemeangeordnet ist, wobei mindestens ein Vibrationssensor (34) im oder am optischen Gerät angeordnet ist, mindestens eines der Umlenkelemente (5, 6a bis 6f) einen Spiegel mit steuerbar deformierbarer Spiegelfläche (50) aufweist und wobei eine Steuereinheit (32) vorgesehen ist, die, abhängig von dem Ausgangssignal des Vibrationssensors (34), das mindestens eine Umlenkelement (5, 6a bis 6f) zur Verstellung der Spiegelfläche (50) derart ansteuert, dass Vibrationen des optischen Geräts durch eine entspr(50) kompensiert werden.
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