| 发明名称 |
Semiconductor Device, Manufacturing Method Thereof, and Measuring Method Thereof |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2008277660(A1) |
申请公布日期 |
2008.11.13 |
| 申请号 |
US20060885958 |
申请日期 |
2006.03.17 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. |
发明人 |
TSURUME TAKUYA;ASANO ETSUKO |
| 分类号 |
H01L23/58;G01R31/26;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L23/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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