| 发明名称 | 检验方法及检验装置 | ||
| 摘要 | 本发明的检验方法从测试器(20)的多个驱动器(21)经由与各测试器(20)连接的第一、第二探针(11A、11B)对中的一个第一探针(11A)向各电极(P)施加烧结用的电压。 | ||
| 申请公布号 | CN100432687C | 申请公布日期 | 2008.11.12 |
| 申请号 | CN200380106057.X | 申请日期 | 2003.12.09 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 篠崎大;小松茂和 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01) | 主分类号 | G01R31/28(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 1.一种检验被检验体的电气特性的方法，其包括下述步骤：向至少一个被检验体的多个电极的各电极上接触一对探针；从测试器中的驱动器向所述一对探针中的第一探针施加电压，从而在该一对探针的顶端之间产生烧结现象；所述测试器中的比较器经由第二探针检测烧结现象的发生；从所述测试器中的驱动器经由所述第一探针向所述被检验体的电极施加检验用信号，从而检测被检验体的电气特性。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||