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经营范围
发明名称
Manipulator of ion implantation device
摘要
申请公布号
KR100868641(B1)
申请公布日期
2008.11.12
申请号
KR20030094781
申请日期
2003.12.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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