发明名称 氦质谱检漏仪接收器
摘要 一种氦质谱检漏仪的接收器,检漏仪接收器包括抑制电极1及引线6、接收极3,其中抑制电极1及引线6与接收极3之间由屏蔽极2隔离。其中接收极3用产生二次电子系数更高的金属材料,如铝或铍青铜。
申请公布号 CN101303266A 申请公布日期 2008.11.12
申请号 CN200810132744.3 申请日期 2008.07.14
申请人 北京中科科仪技术发展有限责任公司 发明人 黄庆文
分类号 G01M3/02(2006.01) 主分类号 G01M3/02(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种氦质谱检漏仪的接收器,检漏仪接收器包括抑制电极1及引线6、接收极3,其中抑制电极1及引线6与接收极3之间由屏蔽极2隔离。
地址 100190北京市海淀区中关村北二条13号