| 发明名称 | 用于前沿和后沿控制的空气台板 | ||
| 摘要 | 本发明描述了一种空气台板组件，该空气台板组件包括一个具有多个同心环(164)的台板(140)。每个环具有多个开口(144)以便给CMP带(102)提供气垫。至少有一个环延伸超出要被CMP带(102)整平的晶片(116)的外边缘(166)。支撑件(136)与台板连接并且具有多个通气口使压缩空气通到台板的环。密封垫(138)放置在支撑件(136)和台板(140)之间，并且具有多个与开口和通气口对准的切掉部分。空气台板组件还包括一个底座(134)，并且支撑着支撑件(136)。 | ||
| 申请公布号 | CN100431789C | 申请公布日期 | 2008.11.12 |
| 申请号 | CN02825539.9 | 申请日期 | 2002.12.12 |
| 申请人 | 拉姆研究公司 | 发明人 | A·德拉勒拉;X·彭;许苍山;D·魏;T·隆 |
| 分类号 | B24B7/22(2006.01) | 主分类号 | B24B7/22(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 沙捷 |
| 主权项 | 1.一种空气台板组件包括：一个具有多个同心环的台板，每个所述环具有多个开口，以便给CMP带提供气垫，所述多个环中至少有一个环整体完全地延伸超出要被所述CMP带整平的晶片的外边缘；一个与所述台板相连接的支撑件，所述的支撑件具有多个通气口，用于使压缩空气通到所述台板的所述环；一个放置在所述支撑件和所述台板之间的密封垫，所述密封垫具有多个切掉部分，其与所述开口和所述通气口对准；以及一个支撑所述支撑件的底座。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州弗里蒙特 | ||