晶圆置放架

摘要

本实用新型是一种晶圆置放架，包含至少两个呈相对应设置的侧板；数个两端分别设于各侧板相对应一面上且邻近各侧板的两侧及底缘的支撑杆；数个两端分别设于各侧板相对应一面上且邻近各支撑杆相对应内侧缘的固定杆；以及数个分别相对应设于各固定杆内侧缘的承载单元。藉此，可将所需的晶圆集中置放于承载单元中，除可防止晶圆于存放时产生破裂及污损之外，也可同时达到易于取用及搬运的功效。

主权项

1、一种晶圆置放架，其特征是包括有：至少两个侧板，呈相对应设置；数个支撑杆，其两端分别设于上述两个侧板相对应的一面上且在各侧板的两侧及底缘；数个固定杆，其两端分别设于上述两个侧板相对应的一面上且在各支撑杆相对应的内侧缘；以及数个承载单元，分别相对应设于上述各固定杆的内侧缘。