| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR PROCESSING REACTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1281539(A) |
申请公布日期 |
1972.07.12 |
| 申请号 |
GB19690048190 |
申请日期 |
1969.10.01 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
KENNETH ELWOOD BEAN;JOHN RICHARD CAMPION |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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