一种在TiNi合金表面制备类金刚石膜的方法

摘要

一种在TiNi合金表面制备类金刚石膜的方法，它涉及一种在合金表面制备类金刚石膜的方法。本发明解决了现有TiNi合金表面的防腐膜存在容易脱落及难以在TiNi合金基体表面制备类金刚石膜的问题。本发明在TiNi合金表面制备类金刚石膜的方法按如下步骤进行：一、将TiNi合金基体表面均进行机械抛光，再以超声波振荡清洗，晾干后立即放入真空室；二、用碳阴极电弧在石墨靶表面移动，控制脉冲电压和工作气压；即在TiNi合金表面形成DLC膜。本发明在TiNi合金表面制备的类金刚石膜与基体的结合力高。

主权项

1、一种在TiNi合金表面制备类金刚石膜的方法，其特征在于在TiNi合金表面制备类金刚石膜的方法按如下步骤进行：一、将TiNi合金基体表面均进行机械抛光，再以丙酮或酒精作为超声波介质振荡清洗20min，晾干后立即放入真空度为5×10-3Pa的真空室；二、用2V电压的碳阴极弧源在石墨表面引燃电弧，TiNi合金基体放置在石墨的靶向位置上，控制脉冲电压为10～30kV，脉冲电压占空比为3％～5％，脉冲电压频率为50～70Hz，工作气压为2×10-2～8×10-2Pa；即在TiNi合金表面形成DLC膜。