静电放电防护装置及其制作方法

摘要

本发明系提供一种静电放电防护装置及其制作方法。上述静电放电防护装置，包含一具有一沟槽的基底；一第一掺杂区，形成于该沟槽侧壁及底部下方之该基底之中；一具有一第二掺杂区的多晶矽层，形成于该沟槽之中；一绝缘层，形成该沟槽之顶部；一第三掺杂区，形成于该基底之中，且邻接该绝缘层；一第四掺杂区，形成于该第三掺杂区之中；以及一第一金属插塞及一第二金属插塞，分别电性连接该第四掺杂区及该多晶矽层。上述静电放电防护装置具有沟槽内增加之PN接面的面积，使得可在不增加基底表面使用率的前提下，提升静电放电防护装置的静电耐受度(electrostatic immunity)。