堆叠式微机电装置

摘要

一种微机电设备有一微机电装置夹置于一基座与一电路晶片之间。该微机电装置之可动构件系安装在向上与该电路晶片相对之侧上。该可动构件可被安装在该微机电装置之一基板上或是直接形成在该电路晶片之一钝化层上。该电路晶片透过接合引线、穿透该微机电装置之通道或一位于该微机电装置以外之传导路径譬如焊料球提供控制信号给该微机电装置。