防滑片污染装置

摘要

本发明系揭露一种应用于制程腔体的防滑片污染装置，其系利用一种不会造成腔体污染、安装容易、便于维修、成本低的防滑片污染装置，来装设于机械手臂取晶圆至制程平台的路径上，以承接由机械手臂夹持滑落或自晶片轮流碟上滑落的晶圆。