| 摘要 |
本发明提出一种基板材用输送带，此输送带第一系可防止基板材的摇晃及蛇行，故可避免发生基板材折损、绉折、掉落等之搬送问题，提高搬送精确度并实现稳定搬送，再者第二，前述情事可在不对基板材造成擦伤、伤痕、损伤等破坏情形下实现。此输送带(3)系使用于基板材(A)之表面处理装置(1)。表面处理装置(1)包含有处理液(A)之药液槽(5)、于药液槽(5)内在液体中搬送基板材(A)之输送带(3)、及于液体中对基板材(A)喷射处理液(B)之喷嘴。输送带(3)系列设有不碰触基板材(A)的电路形成面(D)，且由上下挟住左右两侧端面(E)而加以运送的滚子(8,9)，又，作为滚子(8,9)，系组合采用朝向搬送方向的直进式滚子(R1)，及相对于搬送方向略朝向外侧之倾斜式滚子(R2)。 |
