可校正位置的承载盘

摘要

本发明系一种可校正位置的承载盘，其包括一晶圆承载区域用以承载一晶圆，及复数校正区域由此晶圆承载区域边缘延伸，且此些复数校正区域系不相连的以形成复数个缺口。故，本发明透过校正区域使晶圆从一机器手臂放置在承载盘上时，具有滑移的空间，以避免与承载盘周围的固定元件摩擦而产生颗粒污染。