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发明名称
THIN FILM VARISTOR ARRAY
摘要
A method of forming a thin film varistor array includes creating a metal-metal oxide-metal layer stack without breaking vacuum. The stack is patterned as a plurality of bus lines, each having a plurality of varistor islands formed thereon.
申请公布号
US2008266045(A1)
申请公布日期
2008.10.30
申请号
US20080109709
申请日期
2008.04.25
申请人
SCANVUE TECHNOLOGIES, LLC
发明人
DEN BOER WILLEM
分类号
H01C7/10;C23C14/34
主分类号
H01C7/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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