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发明名称 VERFAHREN ZUR OXIDATION DURCH IN SITU ERZEUGTEN DAMPF
摘要
申请公布号 DE69838790(T2) 申请公布日期 2008.10.30
申请号 DE19986038790T 申请日期 1998.06.05
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 GRONET, CHRISTIAN M.;KNOOT, PETER A.;MINER, GARY E.;XING, GUANGCAI;LOPES, DAVID R.;KUPPURAO, SATHEESH
分类号 H01L21/316;C01B13/32 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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