| 发明名称 | 多层式电探针的结构以及制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种多层式电探针及其制造方法。一种多层式电探针，适用以检测所述待测元件，包括第一条层与第二条层。第一条层具有第一导电率与第一机械强度。第二条层具有第二导电率与第二机械强度。所述第一条层与所述第二条层紧固接触成为结构体，以达到具有所要的机械强度与耐电流的至少其一。又，多层式电探针更可以再包括至少第三条层，以达到所要的耐电流能力与所要的机械强度。 | ||
| 申请公布号 | CN101294983A | 申请公布日期 | 2008.10.29 |
| 申请号 | CN200710102133.X | 申请日期 | 2007.04.29 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 黄萌祺;周敏杰;张复瑜;吴景平 |
| 分类号 | G01R1/067(2006.01) | 主分类号 | G01R1/067(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波 |
| 主权项 | 1、一种多层式电探针，包括：第一条层，具有第一导电率与第一机械强度；以及第二条层，具有第二导电率与第二机械强度，其中所述第一条层与所述第二条层紧固接触成为结构体，作为多层式电探针的一部分。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县 | ||